плёнки SiO2 с жидкой фазы

[S324]

господа, физики наносят плёнку SiO2 на кремний в газофой фазе, которя состоит из SiH4 и N2O. Подложку кремния при этом либо нагревают до 600 С , либо облучают гамма-квантами.
Но забацать девайс с газами неподсилу людям
Вопрос - можно ли получить слой окиси в жидкой фазе, взяв, например, Alk3SiH и окислитель кислородсодержащий, который недолжен при н.у. реагировать с силаном, а при облучении дать SiO2 на кремнии.
Как вариант окислителя t-BuOOH
Вобщем, нужны смелые идеи!!!

[Polychemist]

А. Азотка
Б. Смесь азотки с плавиковкой - если надо подтравить камень.

[S324]

среда должна быть востановительной

[Polychemist]

среда должна быть востановительной

Получение SiO2 из кремния - окисление . Если надо осадить слой SiO2 на кремнии - попробуйте золь-гель, типа гидролиз ТЭОС/ТМОС в спирте с последующим кальцинированием.

[S324]

Получение SiO2 из кремния - окисление .

да не из кремния, а из чегото на кремний

Если надо осадить слой SiO2 на кремнии - попробуйте золь-гель, типа гидролиз ТЭОС/ТМОС в спирте с последующим кальцинированием.

А кто это ТЭОС/ТМОС

[eukar]

тетраэтокси- (тетраметокси-) силан

[dan14444]

TEOS на голый кремний не сядет - поверхность модифицировать надо. Или тем же окислением, или полилизином, например...

[Polychemist]

Точно не сядет? А на металлы садится, ну не ТЭОС конечно, а олигомеры. Берешь типа 5-10% ТЭОС в азеотропе этанола, немного солянки (0.1-0.5% от ТЭОС), кипятишь 30 мин, оставляешь на ночь, поливаешь, сушишь и имеешь неплохую прочную пленку. Там, ес-но, есть недогидролизнутые группы, можно прокалить при 700С, в вакууме/аргоне, улетят.

[dan14444]

На металлы садится замечательно. А на кремний - оч сильно сомневаюсь... Впрочем, проще проверить...

Кстати приведённый рецепт даст довольно гетерогенную плёнку - в нём силика в растворе чуть не кусками получается и тока потом на поверхность садится...
Я пользую <0.2% TEOS в изопропаноле с аммиачком - плёнка растёт только на поверхности. Но больше 100 нм растить так задолбаешься...

[Myrsten]

Анодировать подложку ?

[Polychemist]

Анодировать подложку ?

S324 писал(а):
среда должна быть востановительной