1) статья:
Kazuya Yamamura, Takuro Mitani
Etching characteristics of local wet etching of silicon in HF/HNO3 mixtures
Surface and Interface Analysis, V. 40, Issue 6-7, 2008, P. 1011-1013
Код: Выделить всё
http://dx.doi.org/10.1002/sia.2838из книги Electrochemistry of Silicon
Author(s): Dr. Volker Lehmann
Print ISBN: 9783527293216, Online ISBN: 9783527600274
Copyright © 2002 Wiley-VCH Verlag GmbH,
название главы: The Chemical Dissolution of Silicon и DOI этой главы
Код: Выделить всё
http://dx.doi.org/10.1002/3527600272.ch2