Фотолитография

[Nath_Orlova]

Добрый день товарищам химикам от оптиков.
Занимаюсь изучением фотолитографического процесса при изготовлении киноформов. Может кто-то занимается, знает или слышал о точности воспроизведения толщины микрорельефов фазовых пластин/киноформов фотолитографией? Буду крайне благодарна за ответы, так как ни в каких изданиях, связанных с оптикой такой информации не нашла.

Орлова Наталья

[Iskander]

Вряд ли кто-нибудь занимался.

Из патентов вспоминается, что часто идёт избыточное растравливание рельефа при удалении неполимеризованного фоторезиста...

Иногда надо бороться с плохой адгезией фоторезиста и отшелушиванием его при травлении...

Часто используют CMP (химико-механическое полирование)...

Остальное забыл уже.

Советую пройти на USPTO.gov и покопаться там в технологиях изготовления печатных плат.

[Nath_Orlova]

спасибо за совет