магнетронный синтез алмазоподобных пленок

[Hattabych]

Здравствуйте, уважаемые.

Есть ли на форуме те, кто занимался магнетронным синтезом алмазоподобных пленок? В частности интересует метод карбонизации циклогексана в магнетронной установке.
Существует ли литература по этой теме?

[Iskander]

А CVD чем плох?
Или магнетронное издевательство это объект научного поиска?

[Hattabych]

А CVD чем плох?
Или магнетронное издевательство это объект научного поиска?

Предполагается использовать магнетрон не как метод распыления и нанесения покрытия, а как низкотемпературный метод карбонизации органики

[Iskander]

Насчёт спецов... Наверное нету тут таких. Я, например, в общих чертах знаю технологию CVD и вполне представляю принцип использования магнетрона для этих целей. Но конкретно ничего сказать не смогу (типа температур спирали, составов пиролизуемых жидкостей, давления в системе, подготовки поверхности...)

Попробуйте поиск в USPTO. А в патентах, глядишь и ссылки на книги найдутся.