Вопрос по установке вакуумного напыления

[Псих]

Имеется установка вакуумного напыления, на которой наносятся диэлектрические покрытия (Si, Al2O3). На установке предусмотрены защитные экраны, которые не допускают её запыления. Вопрос в следующем: как чистить эти экраны? Размер у них большой, поэтому химическое травление осложняется отсутствием посуды нужного размера. Из положения выходим следующим образом: оборачиваем экраны алюминиевой фольгой, после достаточно толстой плёнки, фольга меняется. Но сейчас реализовывается ионная очистка в камере, и во избежание утечки заряда хотелось бы иметь диэлектрические стенки. Насколько целесообразно было бы оборачивать экраны не фольгой, а например, фторопластом или полиэтиленом?

[PVLND]

А какие размеры то всё-таки защитных экранов? Разные фторопластовые пленки есть здесь.

[Jeffry]

Вопрос в следующем: как чистить эти экраны?

Обычно установки напыления в вакууме чистят плазмой фреона CF4 (ещё лучше элегаза SF6). Диэлектрики травятся в течение нескольких часов. Сам травил a-Si, Si3N4 ...

[Псих]

Обычно установки напыления в вакууме чистят плазмой фреона CF4 (ещё лучше элегаза SF6). Диэлектрики травятся в течение нескольких часов. Сам травил a-Si, Si3N4 ...

Диэлектрики какой толщины травятся несколько часов? И почему именно такой плазмой? Чем обусловлен её выбор? Я так понимаю, помимо размера ионов играет роль какой-то ещё фактор?
Как выглядит это всё после травления? Диэлектрическая пыль оседает на дно камеры, которую остаётся только убрать?
Источником пламзы является электрод ионной очистки, или что-то ещё?

[Jeffry]

Источник плазмы - ВЧ-генератор, используемый также при получении пленок нитрида кремния и аморфного кремния из моносилана и аммиака (или азота). Травление используют после нескольких недель работы по осаждению пленок, поэтому процесс довольно длительный. Металлические детали со временем также немного растравливаются, становясь матовыми.