Чем травить керамику?

[Rusvald]

Подскажите пожалуйста, чем можно стравить слой керамики используемый в производстве чипов (микросхем) не задев приэтом кристал из оксида кремния?

[Tokashi]

Что-то мне подсказывает, что это из разряда фантастики...

[amik]

Особенно

кристал из оксида кремния

[Iskander]

Плазмой.

Может сработает CMP. (ХМП по-русски)

[Rusvald]

Может сработает CMP. (ХМП по-русски)

Спасибо, но если имеется ввиду Химически-Механическое Покрытие, то мне нужно противоположное действие(снять слой керамики).

[avor]

Может сработает CMP. (ХМП по-русски)

Спасибо, но если имеется ввиду Химически-Механическое Покрытие, то мне нужно противоположное действие(снять слой керамики).

Состав керамики привидите, пож-ста. И у вас правда в кристалле чистый SiO(фантастика) или SiO2(кварц) или все же чистый Si.

[Rusvald]

Состав керамики привидите, пож-ста. И у вас правда в кристалле чистый SiO(фантастика) или SiO2(кварц) или все же чистый Si.

На счет керамики я незнаю ее состава, а вот кристал состоит из подложки из чистого кремния, а сверху (если мне не изменяет память) защищен двуокисью кремния или стеклом.

[Вячеслав]

Плавиковой кислотой минут 10-15, должно смыться... кремний тоже может... Так что аккуратненько, капельку на поверхность...
Конечно, при условии, что Вы отделили кристалл от подложки. Достаточно покипятить деталь в азотке или царской водке.

[avor]

--На счет керамики я незнаю ее состава.

Тогда скорее всего вам никто не сможет помочь. Разве только тот кто эту керамику изготавливал и наносил.

Силикаты хорошо должны травится плавиковой кислотой, но ей хорошо травится и двуокись кремния и кремний, так что есть риск старвить больше чем нужно. В качестве альтернативы можно попробовать азотную кислоту с подогревом, но нет никаких гарантий что это подействует. Другой вариант горячая щелочь, но она почти так же опасна для кремниевой подложки, как и плавиковая кислота.

[Rusvald]

Всех благодарю за ответы.
Люблю, знаете, подсматривать чаво там эти производители чипов печатают на кристаллах. Иногда интересные вещи попадаются. Раньше счищал керамику шлифовкой, иногда задевал кристал . Теперь попробую кислотой может легче будет.