J. Vac. Sci. Technol. A 8, 1078 (1990); (8 pages)
- DOI:
http://dx.doi.org/10.1116/1.576964
L. M. Smith1, C. F. Byrne1, D. Patel1, P. Knowles1, J. Thompson1, G. T. Jenkin2, T. Nguyen Duy3, A. Durand3, and M. Bourdillot3
http://dx.doi.org/10.1116/1.576964Сейчас этот форум просматривают: нет зарегистрированных пользователей и 22 гостя