+++Japanese Journal of Applied Physics

[Levitan]

Уважаемые коллеги, пожалуйста, помогите со статьей:

Jpn. J. Appl. Phys. 44 (2005) pp. 5590-5594;

Код: Выделить всё

http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.44.5590

Highly Accurate Proximity Effect Correction for 100 kV Electron Projection Lithography

Заранее большое спасибо!

[Ann-eaa]

Pojaluista

[Levitan]

Thank, Ann-eaa