Прошу помочь прочитать статью
Авторы: DooHyun Kim, JinNyoung Jang, SooBok Yoon and MunPyo Hong
Название: Effects of bombardment of negative oxygen ions on amorphous indium gallium zinc oxide thin films by superimposed rf/dc magnetron sputtering //
Applied Physics Express, 2014, Vol. 7, n 3, pp. 031401
Код: Выделить всё
http://iopscience.iop.org/1882-0786/7/3/031401/
- DOI:
http://dx.doi.org/10.7567/APEX.7.031401