Aniruddha Joi, Rohan Akolkar, and Uziel Landau
Pulse Electrodeposition of Copper-Manganese Alloy for Application in Interconnect Metallization
J. Electrochem. Soc. 2013 160(12): D3145-D3148;
Код: Выделить всё
http://jes.ecsdl.org/content/160/12/D3145.full.pdf
спасибо за ранее