1
Solid State Phenomena (Volumes 57 - 58)
M. Glück, J. Hersener, H.G. Umbach, J. Rappich, J. Stein. Implementation of Low Thermal Budget Techniques to Si and SiGe MOSFET Device Processing
Код: Выделить всё
http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/SSP.57-58.413MRS Proceedings / Volume 59 / 1985
LennartLindström, Bengt G. Svensson.
Oxygen-Related Defects in Silicon
Matter. Res. Soc. Symp. Proc., 59, 45
Код: Выделить всё
http://dx.doi.org/10.1557/PROC-59-45Спасибо