Ищу информацию:
Автор:M.W. Thompson
Название:Physical mechanisms of sputtering//Physics Reports, 1981, Volume 69, Issue 4, Pages 335–371.
- DOI:
http://dx.doi.org/10.1016/0370-1573(81)90106-X
Код: Выделить всё
http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/037015738190106X