Ibbotson, Dale E. Flamm, Daniel L. Mucha, John A. Donnelly, Vincent M.
Comparison of XeF2 and F‐atom reactions with Si and SiO2
Applied Physics Letters, 1984, Volume 44, Issue 12, p. 1129-1131
- DOI:
http://dx.doi.org/10.1063/1.94665
http://dx.doi.org/10.1063/1.94665Сейчас этот форум просматривают: нет зарегистрированных пользователей и 12 гостей