Japanese Journal of Applied Physics vol. 37

[Vitalik100]

Здравствуйте, ищу статью:

Jpn. J. Appl. Phys. 37 (1998) pp. 2381-2387
Real-Time Monitoring and Control of Plasma Etching
Moshe Sarfaty, Chris Baum, Michael Harper, Noah Hershkowitz and Juda L. Shohet

DOI:

http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.37.2381

Код: Выделить всё

http://jjap.ipap.jp/link?JJAP/37/2381/

Люди, все кто помогает искать эти статьи я вам всем благодарен, спасибо!!! Что б я делал без вас, они же все платные эти статьи!!