Journal of Vacuum Science and Technol. A
Volume 26,
Issue 4, pp. 956-960 (July 2008)
C. Lu
C. D. Blissett and G. Diehl
An electron impact emission spectroscopy flux sensor for monitoring deposition rate at high background gas pressure with improved accuracy
- DOI:
http://dx.doi.org/10.1116/1.2830633
Код: Выделить всё
http://scitation.aip.org/getabs/servlet/GetabsServlet?prog=normal&id=JVTAD6000026000004000956000001&idtype=cvips&gifs=yes&ref=noСтатьи очень помогают мне в написании диссертации. Спасибо!!!