+++Journal of Vacuum Science and Technology

[Vitalik100]

Здравствуте, помогите найти статью, пожалуйста.

Journal of Vacuum Science and Technology
Lutz, H.
"Multisource deposition rate control using a mass spectrometer as a sensing element"
Issue Date : Mar 1978
Volume : 15 , Issue:2
On page(s): 309 - 312

DOI:

http://dx.doi.org/10.1116/1.569578

Код: Выделить всё

http://ieeexplore.ieee.org/search/freesrchabstract.jsp?tp=&arnumber=4952896&queryText%3Ddeposition+rate+control%26openedRefinements%3D*%26searchField%3DSearch+All

Заранее всем спасибо!!

[Abwer]

[Vitalik100]

В который раз спасибо!!!!