Ребят, мне дико неудобно, надеюсь это последняя статья. Заканчиваю диссер, однако всё равно нахожу интересные статьи.
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
Benerofe, S. J Ahn, C. H. Wang, M. M. Kihlstrom, K. E. Do, K. B. Arnason, S. B. Fejer, M. M. Geballe, T. H. Beasley, M. R. Hammond, R. H.
"Dual beam atomic absorption spectroscopy for controlling thin film deposition rates"
Issue Date : Mar 1994
Volume : 12 , Issue:2
On page(s): 1217 - 1220
- DOI:
http://dx.doi.org/10.1116/1.587048
Код: Выделить всё
http://ieeexplore.ieee.org/search/freesrchabstract.jsp?tp=&arnumber=4963174&queryText%3Ddeposition+rate+control%26openedRefinements%3D*%26searchField%3DSearch+All