Помогите, пожалуйста, найти статью:
1. Thin copper film for plasma etching of quartz
A. V. Volkov, V. S. Pavelyev, O. Yu. Moiseev, V. A. Eropolov, B. O. Volodkin and K. N. Tukmakov
Optical Memory and Neural Networks, 2009, Volume 18, Number 1, pp. 40-43.
Код: Выделить всё
http://dx.doi.org/10.3103/S1060992X09010081