++++2 статьи с JJAP и JVST

[primavera]

Здравствуйте! Помогите, пожалуйста, найти эти 2 статьи:

1) Low‐pressure deposition of high‐quality SiO2 films by pyrolysis of tetraethylorthosilicate
F. S. Becker, D. Pawlik, H. Anzinger, and A. Spitzer
J. Vac. Sci. Technol. B 5, 1555 (1987)

DOI:

http://dx.doi.org/10.1116/1.583673

2) Gas-Phase Nucleation in an Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition Process for SiO2 Films Using Tetraethylorthosilicate (TEOS)
Adachi, Motoaki; Okuyama, Kikuo; Tohge, Noboru; Shimada, Manabu; Satoh, Jun-ichi; Muroyama, Masakazu
Japanese Journal of Applied Physics, Volume 31, Issue 10A, pp. L1439-L1442 (1992)

DOI:

http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.31.L1439

Заранее благодарю!

[suprachemister]

[primavera]

Большое спасибо, suprachemister )))