++++1 статья J. Vac. Sci. Technol. A

[primavera]

Здравствуйте! Помогите, пожалуйста, скачать статью:

Fourier transform infrared spectroscopy of effluents from pulsed plasmas of 1,1,2,2-tetrafluoroethane, hexafluoropropylene oxide, and difluoromethane
Catherine B. Labelle, Simon M. Karecki, Rafael Reif, and Karen K. Gleason
J. Vac. Sci. Technol. A 17, 3419 (1999)

DOI:

http://dx.doi.org/10.1116/1.582076

[eFo]

[primavera]

Большое спасибо, eFo !!!