Скачайте, пожалуйста, 1 статью:
Chemical vapor deposition of titanium nitride at low temperatures
S.R. Kurtz, a and R.G. Gordona
Thin Solid Films
Volume 140, Issue 2, 1 July 1986, Pages 277-290
- DOI:
http://dx.doi.org/10.1016/0040-6090(86)90271-3
http://dx.doi.org/10.1016/0040-6090(86)90271-3Сейчас этот форум просматривают: нет зарегистрированных пользователей и 15 гостей