1) Spectroscopic and thermal studies of a-SiC:H film growth: Comparison of mono-, tri-, and tetramethylsilane
Moon-Sook Lee and Stacey F. Bent
J. Vac. Sci. Technol. A 16, 1658 (1998)
- DOI:
http://dx.doi.org/10.1116/1.581138
++++ 1 статья, AVS
++++ 1 статья, AVS
Здравствуйте! Скачайте, пожалуйста, статью:
1) Spectroscopic and thermal studies of a-SiC:H film growth: Comparison of mono-, tri-, and tetramethylsilane
Moon-Sook Lee and Stacey F. Bent
J. Vac. Sci. Technol. A 16, 1658 (1998)
1) Spectroscopic and thermal studies of a-SiC:H film growth: Comparison of mono-, tri-, and tetramethylsilane
Moon-Sook Lee and Stacey F. Bent
J. Vac. Sci. Technol. A 16, 1658 (1998)
Последний раз редактировалось primavera Пт апр 08, 2011 5:50 pm, всего редактировалось 1 раз.
-
kissmyjazz
- Сообщения: 164
- Зарегистрирован: Вс мар 27, 2011 7:16 pm
Re: 1 статья, AVS
Спасибо, kissmyjazz !! ))
Кто сейчас на конференции
Сейчас этот форум просматривают: нет зарегистрированных пользователей и 19 гостей