Revue de Physique Appliquée
Dang Tran Quan, A. Le Bloa, H. Hbib, O. Bonnaud, J. Meinnel, A. Quemerais et R. Marchand
Couches minces d'oxynitrure de phosphore. Application aux structures MIS sur InP
Volume 24, Number 5, mai 1989
- DOI:
http://dx.doi.org/10.1051/rphysap:01989002405054500
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