1) C. R. Gorla1, S. Liang2, G. S. Tompa3, W. E. Mayo1, and Y. Lu2, Silicon and germanium nanoparticle formation in an inductively coupled plasma reactor
J. Vac. Sci. Technol. A 15, 860 (1997);
- DOI:
http://dx.doi.org/10.1116/1.580721
http://dx.doi.org/10.1116/1.580721Код: Выделить всё
http://www.libgen.org/scimag/get.php?doi=10.1116%2F1.580721Сейчас этот форум просматривают: нет зарегистрированных пользователей и 23 гостя