(a-метилстирол + ТМАН ) !!!HELP!!!

форум для специалистов в области органической химии
organic chemistry issues discussion for professional scientists
Ответить
Olga27
Сообщения: 1
Зарегистрирован: Вт окт 23, 2018 11:16 am

(a-метилстирол + ТМАН ) !!!HELP!!!

Сообщение Olga27 » Вт окт 23, 2018 11:27 am

Всем добрый день! Хочу сразу сердечно признаться, я не химик, а инженер-технолог. Занимаюсь микроэлектроникой.
И мне нужна ваша помощь. Сразу перейду к делу.
1) имеется структура: резист (на основе полиметилметакрилата) + термически напыленный алюминий. Традиционно алюминий в нашей технологии стравливаем с такой структуры следующим составом (TMAH 2.4 %+H2O - известно, что с полиметилметакрилатом при этом ничего не происходит и алюминий стравливается просто отлично - со скоростью примерно 10 нм/мин).
2) А теперь проблема. Резист заменен: полимер на основе альфа-метилстирола + также термически напыленный алюминий. Подскажите пожалуйста, как лучше стравить алюминий ? Взаимодействует ли как то альфа-метилстирол с гидроксидом тетраметиламмония и водой ?
Надеюсь на вашу помощь. Пытаюсь разобраться , а знаний в области химии не хватает.

Аватара пользователя
darkweder
Сообщения: 410
Зарегистрирован: Пт июл 15, 2011 6:59 pm

Re: (a-метилстирол + ТМАН ) !!!HELP!!!

Сообщение darkweder » Вт окт 23, 2018 11:41 am

По идее альфаметил полистирол должен быть еще дубовее чем полиметилметакрилат

Аватара пользователя
chemist
Сообщения: 10369
Зарегистрирован: Пн июл 26, 2004 2:14 am

Re: (a-метилстирол + ТМАН ) !!!HELP!!!

Сообщение chemist » Вт окт 23, 2018 11:53 am

Нет, альфа-метилстирол (или альфа-метилПОЛИстирол?) с гидроксидом тетраметиламмония и водой не реагирует. Для активации поверхности этого полимера нужны другие реагенты и условия, например, сульфирование.
I D E A = A u

Ответить

Вернуться в «органическая химия / organic chemistry»

Кто сейчас на конференции

Сейчас этот форум просматривают: нет зарегистрированных пользователей и 17 гостей