Всем добрый день! Хочу сразу сердечно признаться, я не химик, а инженер-технолог. Занимаюсь микроэлектроникой.
И мне нужна ваша помощь. Сразу перейду к делу.
1) имеется структура: резист (на основе полиметилметакрилата) + термически напыленный алюминий. Традиционно алюминий в нашей технологии стравливаем с такой структуры следующим составом (TMAH 2.4 %+H2O - известно, что с полиметилметакрилатом при этом ничего не происходит и алюминий стравливается просто отлично - со скоростью примерно 10 нм/мин).
2) А теперь проблема. Резист заменен: полимер на основе альфа-метилстирола + также термически напыленный алюминий. Подскажите пожалуйста, как лучше стравить алюминий ? Взаимодействует ли как то альфа-метилстирол с гидроксидом тетраметиламмония и водой ?
Надеюсь на вашу помощь. Пытаюсь разобраться , а знаний в области химии не хватает.
(a-метилстирол + ТМАН ) !!!HELP!!!
Re: (a-метилстирол + ТМАН ) !!!HELP!!!
По идее альфаметил полистирол должен быть еще дубовее чем полиметилметакрилат
Re: (a-метилстирол + ТМАН ) !!!HELP!!!
Нет, альфа-метилстирол (или альфа-метилПОЛИстирол?) с гидроксидом тетраметиламмония и водой не реагирует. Для активации поверхности этого полимера нужны другие реагенты и условия, например, сульфирование.
I D E A = A u
Кто сейчас на конференции
Сейчас этот форум просматривают: нет зарегистрированных пользователей и 17 гостей