1. X-ray photoelectron spectroscopy surface charge buildup used to study residue in deep features on integrated circuits
J. H. Thomas, C. E. Bryson, and T. R. Pampalone
J. Vac. Sci. Technol. B 6, 1081 (1988)
Код: Выделить всё
http://dx.doi.org/10.1116/1.584301
Keren Shabtai, Israel Rubinstein, Sidney R. Cohen, and Hagai Cohen
J. Am. Chem. Soc., 2000, Volume 122, Issue 20, pp 4959–4962
Код: Выделить всё
http://dx.doi.org/10.1021/ja993710h
Заранее большое спасибо.