Основные характеристики реактива: Название реактива: 1,1,1,3,3,3-Гексаметилдисилазан
Синонимы: 1,1,1,3,3,3-гексаметилдисилиламин
Брутто-формула: C6H19NSi2
CAS-номер: 999-97-3
Соответствие ГОСТ/ТУ: ТУ 2637-034-44493179-99 с изм. 1
Внешний вид
бесцветная прозрачная жидкость
Массовая доля основного вещества, %, не менее
99,0
Массовая доля органических примесей, %, не более
0,9
Массовая доля сульфатов, % не более
0,0002
Температура кипения при 101,3 кПа, °С, в пределах
0,001
Массовая доля примесей металлов, %, не более
.
Ванадий (V)
0,000001
Железо (Fe)
0,000001
Кальций (Ca)
0,000001
Магний (Mg)
0,000001
Марганец (Mg)
0,000001
Медь (Cu)
0,000001
Никель (Ni)
0,000001
Свинец (Pb)
0,000001
Хром (Cr)
0,000001
Натрий (Na)
0,000005
Калий (K)
0,000005
Литий (Li)
0,000005
Область применения:
Применяется как адгезив фоторезиста.
Пример обозначения
1,1,1,3,3,3-Гексаметилдисилазан для микроэлектроники "ОС.Ч 12-5" ТУ 2637-034-44493179-99 с изм. 1
