Литература по методам исследования тонких пленок

[upd]

Доброго времени суток!

Подскажите, пожалуйста, где в можно найти литературу по методам исследования тонких пленок: UV-VIS, XRR, XRD, а также по осаждению из газовой фазы (PVD, CVD). Интересует методика применения. (У меня доступа к библиотеке нет, только интернет. Поиск в гугл выдает скудное количество полезной информации )

Спасибо заранее!

[antabu]

Технология тонких пленок(77)Майссел Л.,Глэнга Р.-ред\
Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок(07)Берлин Е.В.и др.
Технология тонких пленок(08)Антоненко С.В.
Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике(72)Борисенко А.И.и др.
Химические методы получения тонких прозрачных пленок(71)Суйковская Н.В.
Основы анализа поверхности и тонких пленок(89)Фелдман Л.,Майер Д.

[upd]

Спасибо огромное!