Получают WF6 взаимод. W (реже WO3) с F2
при 300-450 °С. Применяют для нанесения покрытий из W на графит. Si и металлы,
в произ-ве карбидов W, порошкообразного W, изделий из W и его сплавов с
Mo, Re и др. металлами хим. осаждением из газ.вой фазы, для разделения
изотопов W.
вольфрама гексафторид токсичен, ПДК 0,5 мг/м3 в пересчете на HF.
Лит.: Фторидный процесс получения вольфрама. Физико-химические
основы. Свойства металлов, М., 1981. Э. Г. Раков.